弯道绕行
近日,在贵阳举行的第五届大数据科学与工程国际会议上,中国工程院院士吴汉明针对EUV光刻机发表了自己的见解,它表示:“一台EUV光刻机价值超过1亿美元,内部涵盖了近10万个零件,分别来自全球5000多家供应商,并且还是由全世界最高端的技术结合而成。” 同时,吴汉明院士还对EUV光刻机技术的来源做了数据分析,其中荷兰腔体和英国真空占了32%,德国光学系统占比14%,美国光源和日本材料分别独占27%。最后,吴汉明院士还做了最后的概括:“EUV光刻机是全球的结晶,如果让一个国家或者一个地区来做是不现实的。”
从吴院士的字里行间可以看出,如果仅仅凭中国的力量来研制EUV光刻机,显然不现实,以下三个迹象可以佐证。 第一,中国目前正在极力发展碳基芯片、光子芯片和量子芯片,而这类芯片的制造可以成功避开EUV光刻机。
第二,中科院表示55nm芯片才是我国市场当前最主要的需求,至于高精度芯片,不必刻意追求。 第三,华为已经将发展重心从手机业务转向软件和云服务,意在表明芯片断供问题在短期内难以解决。 鉴于以上三点信息,我们也能够体会到高精度芯片制造确实难度非凡,所以中国也在另辟蹊径,并试图绕过EUV光刻机。
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